1.一种利用UV实现晶圆与玻璃分离的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
A.在玻璃表面沉积一层高反射膜,并在高反射膜上贴附一层对玻璃表面形成保护作用的耐高温保护膜;
B.利用键合胶层实现玻璃与晶圆的临时键合,并完成晶圆背面工艺;
C.去除玻璃表面的耐高温保护膜及高反射膜;
D.利用UV解胶机实现玻璃与晶圆的分离。
2.根据权利要求1所述的一种利用UV实现晶圆与玻璃分离的方法,其特征在于,步骤A中所述高反射膜为金属材料膜,耐高温保护膜为黄胶带。
3.根据权利要求1所述的一种利用UV实现晶圆与玻璃分离的方法,其特征在于,步骤B中所述键合胶层为一层结构、两层结构或者三层结构。
4.根据权利要求3所述的一种利用UV实现晶圆与玻璃分离的方法,其特征在于,所述三层结构的键合胶层自下而上依次为释放层、键合层和保护层。
5.根据权利要求1所述的一种利用UV实现晶圆与玻璃分离的方法,其特征在于,步骤D中所述UV解胶机为365nm波长的UV解胶机台。