一种运输晶圆的锁止结构及提篮的制作方法

本实用新型涉及一种半导体生产辅助设备，特别是一种运输晶圆的锁止结构及提篮。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，是一种成本较高的产品；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。在半导体芯片自动化车间加工晶圆产品时，需要对加工后的晶圆进行转移，常用的工具即为晶圆提篮。

现有的晶圆提篮是通过金属管与手提环进行“套接”拼装成型的，简单方便，但也存在缺点：金属管与手提环之间保持相对位置的稳定是通过过盈配合实现的，即通过摩擦力来防止金属管在提篮转移过程中滑落解锁，但随着使用时间的增加，金属管与手提环之间的摩擦力会使二者配合处逐渐变得松动，易在移动过程中出现金属管自行滑落解锁的问题，进而造成晶圆产品从提篮的卡槽内滑落、甚至摔在地上报废的状况。

因此有必要对晶圆的提篮进行改进设计，解决提篮的锁止结构在长时间使用后松动的问题，以避免晶圆意外滑落造成的损失。

技术实现要素：

本实用新型的发明目的在于：针对现有晶圆提篮是通过金属管与手提环之间过盈配合形成锁止结构，但该锁止结构在长时间使用后会因摩擦力作用失效，存在晶圆产品意外滑落的问题，提供一种运输晶圆的锁止结构及提篮，该锁止结构的结构简单，锁止晶圆或放入晶圆调节方便有效，不存在长时间使用后锁止结构失效的状况，防止晶圆产品意外滑落的状况发生，可靠性强。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种提篮锁止结构，包括与晶圆提篮侧板的端面对应设置的活动挡片，活动挡片能沿提篮侧板端面滑动，在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的变位槽，还设有锁止开关，所述锁止开关上设有限制活动挡片位置的限位结构。

该锁止结构在晶圆提篮侧板的端面配设活动挡片，在活动挡片上与提篮上的晶圆存取槽对应设变位槽，再通过锁止开关限制活动挡片的位置，需要存放晶圆时将活动挡片上的变位槽与晶圆存取槽位置对应即可，需要锁止晶圆时，将活动挡片调整到变位槽与晶圆存取槽错位，达到阻挡晶圆掉出的效果，结构简单，锁止结构调节方便有效，由于不存在卡紧或挤压配合锁紧的结构，所以不存在长时间使用后锁止结构失效的状况发生，防止晶圆产品意外滑落的状况，提供一种稳定的晶圆提篮锁止结构。

作为本实用新型的优选方案，所述活动挡片为长条形板状结构，且活动挡片的长度与提篮侧板端面的长度相适应。

作为本实用新型的优选方案，在活动挡片上还设有侧挡条，所述侧挡条与活动挡片本体大致垂直，所述变位槽设置在侧挡条上。在活动挡片侧挡条上设置变位槽，便于与提篮侧板上的晶圆存取槽对应，因为晶圆存取槽是从提篮侧板端面延伸至侧板内壁面的结构，且侧挡条与活动挡片本体为大致垂直的设计，更便于将活动挡片与提篮侧板配合安装。

作为本实用新型的优选方案，所述锁止开关包括设置在活动挡片短边侧的限位压板、以及在提篮侧板上对应设置的弹性支撑件，所述限位压板与活动挡片本体大致垂直，还包括在提篮侧板与活动挡片上对应设置的锁止片组件。

在活动挡片短边侧连接的限位压板，配合活动挡片的侧挡条结构，可将活动挡片挂放在提篮侧板端面上，限位压板与弹性支撑件对应设置，即可给限位压板一个回复力，实际使用时，按压活动挡片到其上的变位槽与晶圆存取槽对应时，通过锁止开关定位，就能将晶圆放入提篮内；当松开锁止开关后，活动压片通过弹性支撑件回复位置，使变位槽与晶圆存取槽错位，实现对提篮内晶圆的阻挡，防止晶圆掉落，整个晶圆存取过程操作简单有效。

作为本实用新型的优选方案，所述锁止片组件包括在提篮侧板和活动挡片上对应设置的卡槽，分别为锁止片活动槽和锁止卡槽，在锁止片活动槽内还设有锁止片。在提篮侧板和活动挡片上对应设置卡槽，并配合设置锁止片，锁止操作方便有效。

作为本实用新型的优选方案，所述锁止片活动槽从提篮侧板的内壁面延伸至提篮侧板端面，在提篮侧板上设与锁止片活动槽连通的转动孔，配合转动件连接锁止片，使锁止片能在锁止片活动槽内转动。锁止片配合设置转动件，并绕转动件在锁止片活动槽内转动，结构稳定性强，使用耐久性好。

作为本实用新型的优选方案，所述转动件为转动销，在锁止片上设有与转动销配合的销孔。

作为本实用新型的优选方案，所述弹性支撑件为弹簧，所述弹簧与转动销同向设置。弹性支撑件采用弹簧，保证活动挡片的回位力，且失效后可更换，使用成本低。

一种运输晶圆的提篮，包括左侧板和右侧板，还包括将左侧板和右侧板连接起来的横梁和连接柱，在两个侧板的内壁对应设有多条晶圆存取槽，在其中一个侧板的端部还配设有上述的锁止结构。

该晶圆提篮在其中一个侧板端部设置锁止结构，通过锁止结构的活动挡片实现对晶圆存取槽的打开或关闭，实质上是用活动挡片进行阻挡，不存在现有锁止结构采用金属管与手提环过盈配合实现锁定、容易因摩擦力造成结构失效的问题，稳定性好、锁止结构长期有效。

作为本实用新型的优选方案，在提篮的两个侧板端部均设锁止结构。在提篮的两个侧板端部均设置锁止结构，进一步增加锁止可靠性。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、该锁止结构的结构简单，锁止晶圆或放入晶圆调节方便有效，不存在长时间使用后锁止结构失效的状况，防止晶圆产品意外滑落的状况发生，可靠性强；

2、在活动挡片侧挡条上设置变位槽，便于与提篮侧板上的晶圆存取槽对应，因为晶圆存取槽是从提篮侧板端面延伸至侧板内壁面的结构，且侧挡条与活动挡片本体为大致垂直的设计，更便于将活动挡片与提篮侧板配合安装；

3、在活动挡片短边侧连接的限位压板，配合活动挡片的侧挡条结构，可将活动挡片挂放在提篮侧板端面上，限位压板与弹性支撑件对应设置，即可给限位压板一个回复力，实际使用时，按压活动挡片到其上的变位槽与晶圆存取槽对应时，通过锁止开关定位，就能将晶圆放入提篮内；当松开锁止开关后，活动压片通过弹性支撑件回复位置，使变位槽与晶圆存取槽错位，实现对提篮内晶圆的阻挡，防止晶圆掉落，整个晶圆存取过程操作简单有效；

4、该晶圆提篮在其中一个侧板端部设置锁止结构，通过锁止结构的活动挡片实现对晶圆存取槽的打开或关闭，实质上是用活动挡片进行阻挡，不存在现有锁止结构采用金属管与手提环过盈配合实现锁定、容易因摩擦力造成结构失效的问题，稳定性好、锁止结构长期有效。

附图说明

图1是本实用新型运输晶圆的锁止提篮的结构示意图。

图2为本实用新型的锁止提篮的锁止结构的组成示意图

图3为图2中右侧板结构的示意图。

图4为图2中A部锁止开关的结构示意图

图5是图4中锁止片的结构示意图。

图中标记：1-左侧板，2-活动挡片，201-限位压板，202-锁止卡槽，203-变位槽，3-锁止开关，301-弹簧，302-转动销，303-锁止片，4-右侧板，401-弹簧安装孔，402-销孔，403-锁止片活动槽，404-晶圆存取槽，5-横梁，6-提环，7-连接柱。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图2至图5所示，本实施例的提篮锁止结构，包括与晶圆提篮侧板的端面对应设置的活动挡片2，活动挡片2能沿提篮侧板端面滑动，在活动挡片2上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽404对应开设的变位槽203，还设有锁止开关3，所述锁止开关3上设有限制活动挡片2位置的限位结构。

进一步地，本实施例的活动挡片2为长条形板状结构，且活动挡片2的长度与提篮侧板端面的长度大致相等。

更进一步地，在活动挡片2上还设有侧挡条，所述侧挡条与活动挡片本体大致垂直，所述变位槽203设置在侧挡条上。在活动挡片侧挡条上设置变位槽，便于与提篮侧板上的晶圆存取槽对应，因为晶圆存取槽是从提篮侧板端面延伸至侧板内壁面的结构，且侧挡条与活动挡片本体为大致垂直的涉及，更便于将活动挡片与提篮侧板配合安装。

综上所述，本实施例的锁止结构在晶圆提篮侧板的端面配设活动挡片，在活动挡片上与提篮上的晶圆存取槽对应设变位槽，再通过锁止开关限制活动挡片的位置，需要存放晶圆时将活动挡片上的变位槽与晶圆存取槽位置对应即可，需要锁止晶圆时，将活动挡片调整到变位槽与晶圆存取槽错位，达到阻挡晶圆掉出的效果，结构简单，锁止结构调节方便有效，由于不存在卡紧或挤压配合锁紧的结构，所以不存在长时间使用后锁止结构失效的状况发生，防止晶圆产品意外滑落的状况，提供一种稳定的晶圆提篮锁止结构。

实施例2

如图2至图5所示，根据实施例1所述的提篮锁止结构，本实施例的锁止开关3包括设置在活动挡片2短边侧的限位压板201、以及在提篮侧板上对应设置的弹性支撑件，所述限位压板201与活动挡片本体大致垂直，还包括在提篮侧板与活动挡片2上对应设置的锁止片组件。

在活动挡片短边侧连接的限位压板，配合活动挡片的侧挡条结构，可将活动挡片挂放在提篮侧板端面上，限位压板与弹性支撑件对应设置，即可给限位压板一个回复力，实际使用时，按压活动挡片到其上的变位槽与晶圆存取槽对应时，通过锁止开关定位，就能将晶圆放入提篮内；当松开锁止开关后，活动压片通过弹性支撑件回复位置，使变位槽与晶圆存取槽错位，实现对提篮内晶圆的阻挡，防止晶圆掉落，整个晶圆存取过程操作简单有效。

进一步地，所述锁止片组件包括在提篮侧板和活动挡片2上对应设置的卡槽，分别为锁止片活动槽403和锁止卡槽202，在锁止片活动槽403内还设有锁止片303。在提篮侧板和活动挡片上对应设置卡槽，并配合设置锁止片，锁止操作方便有效。

更进一步地，本实施例的锁止片活动槽403从提篮侧板的内壁面延伸至提篮侧板端面，在提篮侧板上设与锁止片活动槽403连通的转动孔，配合转动件连接锁止片303，使锁止片303能在锁止片活动槽内转动。锁止片配合设置转动件，并绕转动件在锁止片活动槽内转动，结构稳定性强，使用耐久性好。

本实施例中，所述转动件为转动销302，在锁止片303上设有与转动销302配合的销孔。

本实施例中，所述弹性支撑件为弹簧301，所述弹簧301与转动销302同向设置。弹性支撑件采用弹簧，保证活动挡片的回位力，且失效后可更换，使用成本低。

实施例3

如图1至图5所示，本实施例将实施例1或2所述的提篮锁止结构用于运输晶圆的提篮，包括左侧板1和右侧板4，还包括将左侧板1和右侧板4连接起来的横梁5和连接柱7，在两个侧板的内壁对应设有多条晶圆存取槽404，在其中一个侧板的端部还配设有锁止结构。

进一步地，在横梁5上设有提环6，便于将整个晶圆提篮提起运送。

该晶圆提篮在其中一个侧板端部设置锁止结构，通过锁止结构的活动挡片实现对晶圆存取槽的打开或关闭，实质上是用活动挡片进行阻挡，不存在现有锁止结构采用金属管与手提环过盈配合实现锁定、容易因摩擦力造成结构失效的问题，稳定性好、锁止结构长期有效。

实施例4

本实施例将实施例3所述的运输晶圆的提篮，本实施例在提篮的两个侧板端部均设有锁止结构。在提篮的两个侧板端部均设置锁止结构，进一步增加锁止可靠性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。