] D = N E Yii2-E YiiE Yii
[011引E = N E Xii2-E XiiE Xii
[0113] (2-3)当n = 2, k = 2时，旋转中屯、和忍片位置应满足约束条件：
[0114]狂ii-X)2+灯ii-Y)2=狂i2-X)2+灯i2-Y)2
[0115] 狂21-讶 2+灯2i-Y)2=狂 22-X)2+灯22-Y)2 (VID)
[0116] 求解约束条件可得旋转中屯、的计算公式如下：
[0117]
[0119] (3)在实际求取计算过程中，可W选取多组两个忍片的扫描前后的坐标利用上述 公式（IX)来计算多个旋转中心求取计算得到的旋转中屯、序列的X，Y坐标的平均值，将平 均值作为平台的旋转中屯、。
[0120] 实施例四；
[0121] (1)对预扫描的忍片进行旋正，将平台逆时针旋转k个预设的步距角，进行一次扫 描，继续将平台顺时针旋转1个步距角，进行一次扫描，直到旋转了化次为止。将所有扫 描的忍片数据进行去重处理；
[0122] 似随机选取若干（预设数量）的忍片化次扫描的位置信息，利用公式（I)(II) 进行旋转中屯、的计算；。
[0123] (3)计算出多个旋转中屯、的坐标之后，求取计算得到的旋转中屯、序列的X，Y坐标 的平均值，将平均值作为平台的旋转中屯、获取精确的旋转中屯、的计算。
[0124] 本领域的技术人员容易理解，W上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用W 限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含 在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于，该标定方法包括 如下步骤： (1) 对放置于定位平台的待扫描的芯片进行旋平；以预设步长逆时针旋转所述定位 平台，使得所述待扫描的芯片旋转，并对所述芯片进行扫描，获取所述芯片的信息序列 P{(X, Y, xlndex, ylndex)};继续以预设步长顺时针旋转待扫描的芯片，此次旋转的角度 大于前一步逆时针旋转产生的角度，并再次对所述芯片进行扫描，获取芯片的信息序列 P' {(X'，Y'，xlndex, ylndex)}; (2) 对序列 P{(X，Y, xlndex, ylndex)}、P'{(X'，Y'，xlndex, ylndex)}中的坐标 进行筛选：根据坐标索引，以原始序列P为参考，去除P'中多出的索引对应的坐标， 以原始序列P'为参考，去除P中多出的索引对应的坐标。最后根据索引生成序列 N {(X, Y, X' , Y' , xlndex, ylndex))}； (3) 随机选择序列 N 中的两个元素 N1 (X1, Y1, X' Y' xlndex, ylndex))，N2 (X2, Y2, X' 2, Y' 2, xlndex, ylndex))，求得旋转中心 Oragicin (Xragicin, YragitJ ;求解公式为：2. 如权利要求1所述的用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于， 所述标定方法在所述步骤（3)之后还包括如下步骤： (4) 根据旋转中心Oraglcin，进行芯片信息序列Nsl，Ns2的规划：规划的具体操作为：计 算序列 N{ (X，Y, X'，Y'，xlndex, ylndex))}中分量（X，Y)与 Oregicin (Xragicin, YregicJ 点的距离， 选择距离圆心Oraglcin最远的点S i (Xsl，Ysl)作为区域1的中心，根据预设数量Q选择Q个距 离S1最近的元素，构成N sl;去除N中与N sl相交的元素，得到序列N' ；设T为X方向索引号 相差1的两个芯片的距离的平方，计算获取序列N{(X，Y，X'，Y'，xlndex，ylndex))}中满足 (X-X sl) * (Y-Ysl)〈T的元素，选择距离Oraglcin最远的点S 2 (Xs2, Ys2)作为区域2的中心，根据预 设数量Q选择Q个距离S2最近的元素，构成N s2; (5) 由获取的坐标序列队1{(父1，￥1，父'1，￥' 1，叉111(1以，7111(^))}，队2{(父2，￥ 2，父'2，￥'2，1 Index, ylndex))}，根据所述公式（I )( II )计算出旋转中心的序列，求解序列的平均值， 获取新的旋转中心。3. 如权利要求1所述的用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于， 所述标定方法在所述步骤（3)之后还包括如下步骤： (4)根据旋转中心Oraglcin，进行芯片信息序列Nsl，N s2的规划：随机选取序列N中的两个 区域，以此两个区域的坐标点作为两个区域内的元素，分别记为A区域与B区域，选择A区 域中的芯片信息距离圆心Oraglcin最远的点S i (Xsl，Ysl)作为区域1的中心，根据预设数量Q选 择Q个距离S1最近的元素，构成Nsl，其中选择距离最近的元素的规则为：设T为X方向索引 号相差1的两个芯片的距离的平方，计算获取序列N{ (X，Y，X'，Y'，xlndex，ylndex))}中满 足（X-Xsl) * (Y-Ysl)〈T的元素，去除N中与Nsl相交的元素，得到序列N' ； 在区域B中选择距离Oraglcin最远的点S 2(Xs2, Ys2)作为区域的中心，根据预设数量Q选 择Q个距离S2最近的元素，其中选择距离最近的元素的规则为：设T为X方向索引号相 差1的两个芯片的距离的平方，计算获取序列N' {(X，Y，X'，Y'，xlndex，ylndex))}中满足 (X-Xsl) * (Y-Ysl)〈T 的元素，从而构成 Ns2; (5)由获取的坐标序列队1{(父1，￥1，父' 1，￥'1，叉111(1以，7111(^))}，队2{(父 2，￥2，父'2，￥'2，1 Index, ylndex))}，根据所述公式（I )( II )计算出旋转中心的序列，求解序列的平均值， 获取新的旋转中心。4. 一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于，该标定方法包括 如下步骤： (1) 对放置于定位平台的芯片进行扫描，将所述定位平台朝一个方向旋转一个预设的 角度，继续进行一次扫描，将所述定位平台朝相反的方向旋转一个不同的预设的角度，进行 一次扫描，以此方式进行n次扫描，并且对扫描获取的芯片信息数据进行去重处理，即经过 去重处理之后n次扫描的芯片信息处理里不包括重复的芯片索引号，其中n = 3或n为大 于3的偶数； (2) 随机选取一个芯片三次扫描的位置信息，利用如下公式进行旋转中心的计算： 若n = 3,则其中： A = NE X112Y1^N E Y113- E (X11^Y112) E Y11 B = N E X11Yu- E X11E Y11 C = NE X11Y11^N E X113- E (X11^Y112) E X11 D = NE Y112- E Y11E Y11 E = NE X112- E X11E X11 其中N为扫描次数的数值，i为n次扫描中的第i次扫描。5. 如权利要求4所述的用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于， 所述步骤（2)之后还包括如下步骤： (3) 选取多个芯片重复进行步骤（2)的运算，获取旋转中心的序列，求取计算得到的所 述旋转中心序列的X、Y坐标的平均值，以其作为旋转中心。
【专利摘要】本发明公开了一种基于LED芯片扫描的旋转中心标定方法，具体包括以下步骤：步骤一，芯片扫描，获取同一次装夹后不同旋转角度下的两组扫描坐标数据；步骤二，扫描数据预处理，去除两组数据中仅被识别一次的芯片坐标；步骤三，获取初步旋转中心；步骤四，以旋转中心为参考，规划两个的区域A、B，旋转前其芯片序列为PA、PB，旋转后为P′A、P′B；步骤五，求PAP′A，PBP′B的垂直平分线的交点序列，计算交点序列坐标X，Y的平均值，得到精确的旋转中心。本方法主要适用于芯片制造过程中对芯片定位平台旋转中心的精确标定，采用芯片扫描数据进行旋转中心的计算，能快速，准确的对芯片定位平台的旋转中心进行标定。
【IPC分类】H01L21/68, H01L21/673
【公开号】CN105140164
【申请号】CN201510536974
【发明人】贺松平, 吴文超, 李斌, 龚时华, 李达, 易江伟, 欧阳银, 孙伟立
【申请人】华中科技大学
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年8月28日