一种盲孔的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及化学技术领域，更具体地说，涉及一种盲孔的制作方法。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的发展，指纹检测被广泛的应用到人们的日常生活以及工作中，为人们的日常生活以及工作带来了巨大的便利，成为人们日常生活以及工作中不可或缺的重要工具。
[0003]—般的，指纹检测模组安装在设置有通孔的玻璃基板上，但是玻璃基板上形成设置指纹检测模组的通孔会影响玻璃基板的机械强度。
【发明内容】
[0004]为解决上述问题，本发明提供了一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。
[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0006]—种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括:
[0007]提供一基板，所述基板包括:相对设置的第一表面以及第二表面；
[0008]在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层；其中，所述掩膜层包括:用于形成盲孔的镂空区域；
[0009]对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔;其中，所述盲孔为深度小于所述基本厚度的凹槽；
[0010]当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。
[0011]优选的，在上述盲孔的制作方法中，所述在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层包括:在所述第二表面涂覆抗蚀刻油层。
[0012]在所述第一表面以及所述抗蚀刻油层表面涂覆光刻胶；
[0013]对位于所述第一表面以及位于所述抗蚀刻油层表面的光刻胶进行曝光，其中，位于所述第一表面的光刻胶采用设定模具进行曝光；
[0014]对所述光刻胶层进行固化处理后，再进行显影处理，清洗掉所述第一表面上对应所述镂空区域的光刻胶。
[0015]优选的，在上述盲孔的制作方法中，所述进行蚀刻包括:
[0016]将所述基板放入蚀刻试剂中设定时间，对所述基板进行蚀刻，在所述基板对应所述镂空区域的位置形成预设深度的凹槽，以形成所述盲孔，所述预设深度小于所述基板的厚度。
[0017]优选的，在上述盲孔的制作方法中，当所述基板面积超过预设尺寸时，所述掩膜层包括多个镂空区域；
[0018]所述将所述基板放入蚀刻试剂中设定时间进行蚀刻前包括:
[0019]将所述基板分割为多个设定面积的单元结构，每一所述单元结构的掩膜层具有至少一所述镂空区域；
[0020]采用所述蚀刻试剂对所述单元结构进行蚀刻，形成具有盲孔的面板。
[0021 ]优选的，在上述盲孔的制作方法中，当所述基板面积小于预设范围时，所述掩膜层包括多个镂空区域;对所述镂空区域进行蚀刻包括:
[0022]对所述基板进行蚀刻，形成盲孔；
[0023]将蚀刻后的基板分割为多个至少具有一个所述盲孔的面板。
[0024]优选的，在上述盲孔的制作方法中，还包括:对所述面板进行钢化。
[0025]优选的，在上述盲孔的制作方法中，所述基板是:玻璃板。
[0026]优选的，在上述盲孔的制作方法中，所述蚀刻试剂为氢氟酸。
[0027]优选的，在上述盲孔的制作方法中，还包括:对所述盲孔进行点抛光。
[0028]本发明还提供了一种盖板，该盖板包括:基板以及设置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔为深度小于所述基板厚度的凹槽。
[0029]本发明还提供了一种指纹检测面板，该指纹检测面板包括:盖板，所述盖板包括:基板以及设置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔为深度小于所述基板厚度的凹槽;所述指纹检测模组设置在所述盲孔内。
[0030]本发明还提供了一种电子设备，该电子设备包括:上述所述的指纹检测模组面板。
[0031]通过上述描述可知，本发明提供的一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括:提供一基板，所述基板包括:相对设置的第一表面以及第二表面;在所述第一表面形成掩膜层;所述掩膜层包括:用于形成盲孔的镂空区域;对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。
【附图说明】
[0032]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0033]图1为本申请实施例提供的一种盲孔的制作方法的流程示意图；
[0034]图2为本申请实施例提供的另一种盲孔的制作方法的流程示意图；
[0035]图3为本申请实施例提供的又一种盲孔的制作方法的流程示意图；
[0036]图4为本申请实施例提供的一种盖板的结构示意图；
[0037]图5为本申请实施例提供的一种指纹检测面板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0038]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。.
[0039]正如【背景技术】中所述，一般的，指纹检测模组安装在设置有通孔的玻璃基板上，但是玻璃基板上形成设置指纹检测模组的通孔会影响玻璃基板的机械强度。
[0040]为了解决该问题，本申请实施例提供了一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。
[0041]参考图1，图1为本申请实施例提供的一种盲孔的制作方法的流程示意图。该盲孔的制作方法包括:
[0042]SI 1:提供一基板；
[0043]所述基板包括:相对设置的第一表面以及第二表面。所述基板为玻璃板。
[0044]SI 2:在所述第一表面形成掩膜层，在所述第二表面形成保护层；
[0045]所述掩膜层包括:用于形成盲孔的镂空区域。
[0046]S13:对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；
[0047]将所述基板放入蚀刻试剂中设定时间，对所述基板进行蚀刻，在所述基板对应所述镂空区域的位置形成预设深度的凹槽，以形成所述盲孔;其中，所述凹槽的深度小于所述基板的厚度。
[0048]对所述玻璃基板进行蚀刻，所用的蚀刻试剂为氢氟酸，所述氢氟酸与所述玻璃基板之间发生的腐蚀作用是:Si02+6HF = H2SiF6+2H20。在形成所述盲孔之后对其所述盲孔进行点抛光。
[0049]S14:当蚀刻完成后，去除所述掩膜层；
[0050]最后，需要对所形成盲孔的基板进行钢化。
[0051 ]由此可知，本申请实施例提供的这种盲孔的制作方法，采用化学蚀刻的方式，避免所述基板因机械外力的损伤而导致的强度不高。传统的机械加工方式在外观和强度性能上都不具有明显优势，通过化学蚀刻的方式，可将所述盲孔的外观做到完美，性能达到最好。
[0052]制作所述盲孔的工艺流程包括:首先提供基板，对所述基板进行质量检测看是否符合要求，达到要求之后对所述基板进行清洗。以上都为制作盲孔的准备工作。由于本申请实施例提供的盲孔的制作方法是化学蚀刻，并且盲孔为连接所述基板表层和内层而不贯通整个基板的导通孔，因此在对所述基板进行加工时，要在所述基板不刻蚀盲孔的第二表面丝印抗蚀刻油。之后对所述基板进行固化，之后涂光刻胶，所述基板的第一表面与第二表面都需要涂光刻胶，在涂光刻胶之前对基板进行清洗，接下来对涂完光刻胶的基板进行预烘，之后进行曝光，在进行曝光操作时，将所述基板第一表面罩上铬板，对预留的盲孔位进行遮光，之后再次进行坚膜操作，所述坚膜也为固化的一种方式，接下来用显影液清洗掉所述预留盲孔位已发生化学反应的光刻胶，此操作为显影。
[0053]其中，由于正性光刻胶对一些溶剂不可溶，经光照后变成可溶于显影液的物质。而负性光刻胶经光照后变成不可溶物质，不溶于显影液。因此，所述光刻胶选为负性光刻胶。
[0054]以负性光刻胶为例，在所述第二表面涂覆所述抗蚀刻油层后，在所述第一表面以及所述抗蚀刻油层表面都需要涂覆所述负性光刻胶，之后对所述基板第一表面以及第二表面俩侧进行曝光处理，在曝光之前，在所述第一表面上方增加一个铬板装置，所述铬板装置用于对所述基板的镂空区域遮光，其余区域正常。之后对所述基板进行曝光处理，在曝光处理完成后，所述第一表面光刻胶固化为所述掩膜层，所述第二表面光刻胶固化为所述保护层，之后清洗掉所述镂空区域预留的负性光刻胶。
[0055]上述所述抗蚀刻油是一种黑色油墨，丝印在所述基板的第二表面，避免在曝光时，因所述基板两个表面涂负性光刻胶，光线从所述第二表面照到所述预留盲孔位，导致曝光不均，显影不干净。主要起到一个挡光作用。
[0056]在进行显影操作完成后，就需要对所述基板进行化学蚀刻形成盲孔的重要操作，将所述基板放入蚀刻试剂中，放入设定的时间来进行蚀刻，进而形成盲孔。由于选取的所述基板的面积有大有小，对于面积大的基板和面积相对小的基板在进行蚀刻时的操作顺序不一样。因此根据实现此工艺的设施，可以确定一个大小的尺寸值，来对所述基板的大小进行判断。<