弹性波装置的制作方法

文档序号:11142798阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

压电基板;

纵耦合谐振器型声表面波滤波器,其具有沿着弹性波传播方向依次配置在所述压电基板上的第1~第3IDT;和

并联陷波器,其连接在所述纵耦合谐振器型声表面波滤波器的一端与接地电位之间,且由声表面波谐振器构成,

相对于在所述压电基板上在与所述弹性波传播方向正交的方向上延伸的所述第2IDT的中心轴,所述纵耦合谐振器型声表面波滤波器的两侧的部分构成为非对称,

在将构成所述并联陷波器的声表面波谐振器的占空比设为D0、将所述纵耦合谐振器型声表面波滤波器的第1~第3IDT的占空比设为D1~D3时,占空比D0是占空比D1~D3当中最大的占空比与最小的占空比之间的大小。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

所述占空比D2小于所述占空比D1以及所述占空比D3。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,

所述占空比D0处于所述占空比D1~D3的合成占空比±0.02的范围。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,

所述合成占空比是对所述占空比D1与所述占空比D3的平均和所述占空比D2取平均的平均值。

5.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,

所述合成占空比是所述第1~第3IDT的占空比D1~D3的算数平均。

6.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,

所述合成占空比是{(D1+D3)/2+D2}/2。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述弹性波装置还具备:

封装件,其接合在所述压电基板上从而形成所述第1~第3IDT以及所述声表面波谐振器的IDT所面对的中空部。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其中,

所述封装件具有:

支承构件,其层叠在所述压电基板上,具有用于形成所述中空部的开口部;和

封盖构件,其层叠在所述支承构件上。

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