1.一种搬运装置，具备：
输送装置，对基板进行搬运；
夹紧装置，具有一对夹持部件，使这一对夹持部件中的至少一方接近，夹持基板的两缘，由此将基板夹紧；及
支撑部件，配置在所述一对夹持部件之间，并从下方支撑基板，
通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板从所述输送装置抬起，并通过所述夹紧装置将抬起的所述基板夹紧，
所述搬运装置的特征在于，
该搬运装置具备：
按压部件，配置在所述输送装置的上方，从上方按压基板；及
控制装置，具有为了将基板的中央部比缘部突出的状态即上翘曲状态的基板夹紧而控制所述搬运装置的动作的第一夹紧部，
所述第一夹紧部具有：
第一支撑部件动作控制部，通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板抬起至预先设定的设定高度；
第一按压部件动作控制部，通过所述按压部件将由所述支撑部件抬起的基板的中央部朝下方按压，由此使基板变形为所述下翘曲状态；
第一夹持部件动作控制部，通过所述一对夹持部件夹持由所述按压部件按压的基板；及
第二按压部件动作控制部，解除所述按压部件的按压。
2.一种搬运装置，具备：
输送装置，对基板进行搬运；
夹紧装置，具有一对夹持部件，使这一对夹持部件中的至少一方接近，夹持基板的两缘，由此将基板夹紧；及
支撑部件，配置在所述一对夹持部件之间，并从下方支撑基板，
通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板从所述输送装置抬起，并通过所述夹紧装置将抬起的所述基板夹紧，
所述搬运装置的特征在于，
该搬运装置具备：
按压部件，配置在所述输送装置的上方，从上方按压基板；及
控制装置，具有为了将基板的缘部比中央部突出的状态即下翘曲状态的基板夹紧而控制所述搬运装置的动作的第二夹紧部，
所述第二夹紧部具有：
第二支撑部件动作控制部，通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板抬起至比预先设定的设定高度低设定距离的位置；
第二夹持部件动作控制部，通过所述一对夹持部件夹持由所述支撑部件抬起的基板；
第三按压部件动作控制部，通过所述按压部件将由所述一对夹持部件夹持的基板的缘部朝下方按压；及
第三支撑部件动作控制部，在解除了所述按压部件的按压之后，通过所述支撑部件使由所述一对夹持部件夹持的基板向上方移动所述设定距离。
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，
该搬运装置具备检测基板的翘曲量的检测传感器，
所述设定距离设定成与由所述检测传感器检测到的基板的翘曲量相当的距离。
4.根据权利要求2或3所述的搬运装置，其特征在于，
该搬运装置具备检测基板的翘曲量的检测传感器，
所述控制装置具有基于由所述检测传感器检测到的基板的翘曲量来判定夹紧预定的基板是否为所述下翘曲状态的判定部，
在通过所述判定部判定为夹紧预定的基板是所述下翘曲状态的情况下，所述第二夹紧部为了夹紧所述下翘曲状态的基板而控制所述搬运装置的动作。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的搬运装置，其特征在于，
所述第二夹持部件动作控制部利用所述一对夹持部件以比通过所述第三按压部件动作控制部而使所述按压部件按压基板的力低的力来夹持由所述支撑部件抬起的基板，
通过所述第三按压部件动作控制部的所述按压部件的按压，使所述一对夹持部件中的至少一方移动。
6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
该搬运装置具备检测基板的翘曲量的检测传感器，
所述控制装置具有基于由所述检测传感器检测到的基板的翘曲量来判定夹紧预定的基板是否为所述上翘曲状态的判定部，
在通过所述判定部判定为夹紧预定的基板是所述上翘曲状态的情况下，所述第一夹紧部为了将所述上翘曲状态的基板夹紧而控制所述搬运装置的动作。
7.根据权利要求1或6所述的搬运装置，其特征在于，
所述第一夹紧部具有第三夹持部件动作控制部，
在解除了由所述第二按压部件动作控制部进行的所述按压部件的按压之后，该第三夹持部件动作控制部以维持基板的所述下翘曲状态并缓和所述下翘曲状态的方式使所述一对夹持部件中的至少一方移动。
8.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，
该搬运装置具备用于检测所述一对夹持部件之间的距离的第一检测传感器，
所述第三夹持部件动作控制部以使由所述第一检测传感器检测到的距离比基板的宽度短的方式使所述一对夹持部件中的至少一方移动。
9.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，
该搬运装置具备第二检测传感器，该第二检测传感器配置在所述输送装置的上方且用于检测该第二检测传感器与基板的距离，
所述第三夹持部件动作控制部以使由所述第二检测传感器检测的基板的中央部的检测距离比由所述第二检测传感器检测的基板的缘部的检测距离长的方式使所述一对夹持部件中的至少一方移动。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的搬运装置，其特征在于，
所述支撑部件是从下方支撑基板的多个支撑销，
所述多个支撑销中的对基板的中央部进行支撑的一个以上支撑销能够伸缩。