一种加速器及其束流路径在线监测装置的制作方法

技术特征：

1.一种束流路径在线监测装置，其特征在于，包括设置于加速器束流通道上的环状光阑(1)，所述环状光阑(1)的中间设置用于通过电子流通道(11)；所述环状光阑(1)上沿周向均匀设置多个温度传感器(3)，所述环状光阑(1)的中心安装在束流通道的中心，各所述温度传感器(3)距离所述环状光阑(1)中心的距离相等；所述温度传感器(3)的信号传递至监测器(2)，所述监测器(2)根据所述温度传感器(3)监测的温度差异判断电子束是否处于正中。

2.根据权利要求1所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述环状光阑(1)设置环状的水流通道(12)，所述水流通道(12)中流通冷却水，所述温度传感器(3)从所述水流通道(12)的外侧向内插装。

3.根据权利要求2所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述水流通道(12)朝向中心设置用于安装所述温度传感器(3)的盲孔，所述盲孔的内壁设置与所述温度传感器(3)配合固定的螺纹。

4.根据权利要求2所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述水流通道(12)为内部整体连通的密封腔体，所述水流通道(12)外周上相对的位置分别设置进水口(4)和出水口(5)。

5.根据权利要求4所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述水流通道(12)的外周呈圆形，所述电子流通道(11)为圆形通孔。

6.根据权利要求5所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述水流通道(12)的一侧端面上均匀设置多个连接孔(13)，所述连接孔(13)通过螺栓连接在法兰盘上。

7.根据权利要求6所述的束流路径在线监测装置，其特征在于，所述水流通道(12)上设置六个所述温度传感器(3)，所述温度传感器(3)、所述进水口(4)和所述出水口(5)等间距分布；所述水流通道(12)的端面上设置八个所述连接孔(13)。

8.一种加速器，包括相互连接形成束流通道的电子枪(61)、加速管(62)、真空抽气系统(63)、漂移管(64)、真空波纹管(65)、扫描装置(66)和扫描窗(67)，其特征在于，还包括权利要求1至7任一项所述的束流路径在线监测装置。

9.根据权利要求8所述的加速器，其特征在于，所述环状光阑(1)连接在所述真空波纹管(65)和所述扫描装置(66)之间。