电子枪专用多工位预处理装置的制作方法

文档序号:13940768阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种电子枪专用多工位预处理装置,涉及电子枪技术,特别涉及电子枪预处理技术;本实用新型所要解决的技术问题是,能够对多支电子枪同时进行预处理,提高处理的工作效率和便利性;其特征在于:该装置包括电子枪主体存放管道、电子枪变径接口、超高真空阀、离子泵等;所述电子枪主体存放管道壁上设置有多个电子枪变径接口;由于采用上述结构,可以同时进行多支电子枪的耐压测试、分解、激活与老化,实现每支电子枪的真空独立,各工位不必同时使用,提高了电子枪预处理的效率和便利性,并能大幅度缩短电子枪进入正常工作状态的周期。

技术研发人员:邵珠振;张岩松;刘华周;李传南;王剑钢;李欢
受保护的技术使用者:山东蓝孚高能物理技术股份有限公司
文档号码:201720896452
技术研发日:2017.07.24
技术公布日:2018.03.13

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