音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法与流程

技术特征：

技术总结
对在晶圆状态下对音叉型振动片的较厚的频率调整用金属膜照射光束而进行频率粗调整时产生的在频率调整用金属膜端部上以起毛刺的状态突出的突起部分进行加压而将其压扁，由此防止上述突起部分因冲击而缺损，从而抑制频率变动。

技术研发人员：山下弘晃
受保护的技术使用者：株式会社大真空
技术研发日：2017.11.01
技术公布日：2019.06.14