技术特征:
技术总结
本发明的目的在于提供一种能对应于超小型化、且能不降低频率调整精度地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法。本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振器的频率调整方法是通过减少音叉型石英晶体振动片(1)的振动臂(31、32)上形成的调整用金属膜(W)的质量,来进行频率调整,该方法包括,通过将调整用金属膜(W)的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整的粗调整工序、和通过将粗调整工序中从所述调整用金属膜(W)产生的生成物(W1、W2)的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整的微调整工序。
技术研发人员:山下弘晃
受保护的技术使用者:株式会社大真空
技术研发日:2017.09.28
技术公布日:2019.06.14