1.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：
一对电极，通过放电而产生等离子体；
电源装置，生成向所述一对电极供给的电力；
一对线缆，从所述电源装置向所述一对电极传送所述电力；
导电性的屏蔽部件，对所述一对线缆进行屏蔽；
接地线缆，使所述屏蔽部件接地；
检测器，检测所述接地线缆中流动的电流；及
报告部，根据所述检测器检测出预定值以上的电流而报告电流异常。
2.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中，
所述等离子体产生装置具备控制部，所述控制部根据所述检测器检测出预定值以上的电流而使所述电源装置停止所述电力的供给。
3.根据权利要求2所述的等离子体产生装置，其中，
所述等离子体产生装置具备向所述一对电极之间供给处理气体的供给装置，
所述控制部根据所述检测器检测出预定值以上的电流而使所述供给装置停止所述处理气体的供给。
4.根据权利要求3所述的等离子体产生装置，其中，
所述等离子体产生装置具备对所述处理气体进行加热的加热器，
所述控制部根据所述检测器检测出预定值以上的电流而使所述加热器停止所述处理气体的加热。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体产生装置，其中，
所述报告部具有显示器，
根据所述检测器检测出预定值以上的电流而在所述显示器上显示警告。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的等离子体产生装置，其中，
所述一对线缆连接设于可动部的所述一对电极和所述电源装置。