信息处理装置的制作方法

文档序号:19161081发布日期:2019-11-16 01:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种信息处理装置,具备控制装置,

所述控制装置具有:

取得部,按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值,所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体;

判断部,判断由所述取得部取得的所述指标值是否满足设定条件;及

报告部,基于由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数,报告预定的信息。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置,其中,

所述控制装置具有计数部,所述计数部对由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数进行计数,

在由所述计数部计数的计数值为设定数以上的情况下,所述报告部报告所述预定的信息。

3.根据权利要求2所述的信息处理装置,其中,

所述计数部对由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的每单位时间的次数进行计数。

4.根据权利要求2或3所述的信息处理装置,其中,

所述信息处理装置具有操作接收部,该操作接收部接收通过用户操作对所述设定数的输入。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的信息处理装置,其中,

所述指标值是向所述多个电极供给的电流的振幅和供电量中的至少一方。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的信息处理装置,其中,

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值的输出部。


技术总结
本发明提供一种信息处理装置,该信息处理装置具备控制装置,该控制装置具有:取得部,按时间顺序取得表示向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值;判断部,判断由取得部取得的指标值是否满足设定条件;及报告部,基于由判断部判断为指标值不满足设定条件的次数,报告预定的信息。

技术研发人员:神藤高广;泷川慎二
受保护的技术使用者:株式会社富士
技术研发日:2017.04.04
技术公布日:2019.11.15
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