弹性波装置的制作方法

文档序号:18225592发布日期:2019-07-19 23:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明的课题在于,使得不易产生裂缝。弹性波装置(1)具备基板(11)、IDT电极(12)、间隔层(13)、覆盖构件(14)、以及保护层(15)。间隔层设置在基板上,且包围IDT电极。覆盖构件设置在间隔层上,且与IDT电极分离,具有间隔层侧的第一主面(141)和与第一主面对置的第二主面(142)。保护层(15)具有与第二主面相接的第三主面(153)、与第三主面对置的第四主面(154)、以及与第四主面相连的侧面(155)。在保护层中的侧面中的至少一部分,在从基板的厚度方向(D1)的俯视下,包含侧面与第四主面的交线(156)的部分位于比基板的外缘(113)靠内侧。

技术研发人员:福田大辅
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2018.12.19
技术公布日:2019.07.19
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