1.一种弹性波元件,其具备:
压电性材料基板、
所述压电性材料基板上的电极、
支撑基板、以及
接合层,该接合层将所述压电性材料基板与所述支撑基板接合,
所述弹性波元件的特征在于,
所述接合层包含水晶。
2.根据权利要求1所述的弹性波元件,其特征在于,
所述接合层的厚度为0.05μm以上30μm以下。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波元件,其特征在于,
在所述接合层与所述压电性材料基板之间具备压电性材料基板侧中间层,该压电性材料基板侧中间层包含选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛及高电阻硅构成的组中的一种以上材质。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波元件,其特征在于,
在所述接合层与所述支撑基板之间具备支撑基板侧中间层,该支撑基板侧中间层包含选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛及高电阻硅构成的组中的一种以上材质。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波元件,其特征在于,
所述支撑基板包含选自由硅、硅铝氧氮陶瓷、多铝红柱石、蓝宝石及透光性氧化铝构成的组中的材质。
6.一种弹性波元件的制造方法,其特征在于,包括以下工序:
将压电性材料基板与水晶板接合的工序、
对所述水晶板进行加工而形成接合层的工序、
将所述接合层与支撑基板接合的工序、以及
在所述压电性材料基板上形成电极的工序。
7.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,
使所述接合层的厚度为0.05μm以上30μm以下。
8.根据权利要求6或7所述的制造方法,其特征在于,
包括在所述压电性材料基板与所述水晶板之间设置压电性材料基板侧中间层的工序,该压电性材料基板侧中间层包含选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛及高电阻硅构成的组中的一种以上材质。
9.根据权利要求6~8中的任一项所述的制造方法,其特征在于,
包括在所述接合层与所述支撑基板之间设置支撑基板侧中间层的工序,该支撑基板侧中间层包含选自由五氧化钽、五氧化铌、氧化钛及高电阻硅构成的组中的一种以上材质。
10.根据权利要求6~9中的任一项所述的制造方法,其特征在于,
所述支撑基板包含选自由硅、硅铝氧氮陶瓷、多铝红柱石、蓝宝石及透光性氧化铝构成的组中的材质。