技术总结
一种用于更换直线等离子体源的装置，属于直线等离子体装置应用技术领域。这种用于更换直线等离子体源的装置采用等离子体源通过连接法兰与真空室法兰连接，在等离子体源上设有可移动的磁体线圈。连接法兰采用A型法兰、B型法兰或C型法兰。Helical型螺旋波等离子体源通过A型法兰与真空室法兰连接，蚊香型螺旋波等离子体源通过B型法兰与真空室法兰连接，六硼化镧等离子体源通过C型法兰与真空室法兰连接。通过不同的法兰接口可以连接不同的等离子体源，分别调节每种等离子体源所需要的最优磁场环境，从而快速方便的更换等离子体源，根据需求创造不同的等离子体环境。需求创造不同的等离子体环境。需求创造不同的等离子体环境。
技术研发人员：桑超峰 王越 孙长江 叶灏 王奇
受保护的技术使用者：大连理工大学
技术研发日：2020.10.14
技术公布日：2021/2/20