一种工业用高效低温等离子体发生器的制作方法

本实用新型涉及工业生产技术领域，具体涉及一种工业用高效低温等离子体发生器。

背景技术：

低温等离子体加工产业始于20世纪30年代。20世纪50年代，自由电子束技术被广泛应用于医疗器械，化妆品和医药产品的灭菌。自此，低温等离子体技术在工业应用中被广泛推广，如热固性树脂固化，半导体增强和食品加工等工业领域。

低温等离子体是近年开始开发的，尽管一些文献提到了几种产生方法，但并没有更加深入的了解它。目前它的用途主要限于少数低功率应用，如等离子电视，复印机，和空气净化器。使用自由电子束及低温等离子体最主要的缺点是产品必须直接置于放电路径中。此外，能量无法储存也是一个限制方面。目前由于缺乏可靠，低成本，易操作的方法来产生低温等离子体，故其尚未有大规模工业应用。

在等离子体生产中，通常需要将外部的气体导入到等离子体发生腔内进行处理。然而，直接将外部气体通入到等离子体发生腔内常常会引起气体的不均匀分布，会出现气体局部集中或者出现气体死区(没有气体流入)等情况，严重影响了等离子体发生腔内处理效果和反应效率。从而影响等离子体的产生效率，造成资源上的浪费。

技术实现要素：

解决的技术问题

针对现有技术所存在的上述缺点，本实用新型提供了一种工业用高效低温等离子体发生器，能够有效地克服现有技术所存在的等离子体发生腔内气流分布不均、电离均匀度差的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种工业用高效低温等离子体发生器，包括等离子体箱，所述等离子体箱内设置等离子体发生腔，所述等离子体发生腔内等间距设置电极，所述等离子体发生腔内部下端入口处设置蜂窝板，所述蜂窝板上设置气流孔；所述等离子体箱下端连通锥形导流管，所述锥形导流管下端通过气流管道连通风机；所述等离子体箱上端设置锥形引流罩，所述锥形引流罩上端连通绝缘软管；所述等离子体发生腔内表面、所述锥形引流罩内表面均设置绝缘层。

更进一步地，所述蜂窝板的外形尺寸与所述等离子体发生腔的内表面结构尺寸相匹配。

更进一步地，所述电极相互平行，所述气流孔等间距设置在所述蜂窝板上，所述气流孔的位置与所述电极之间的间隙一一对应。

更进一步地，所述锥形导流管的上端横截面积大于下端横截面积，所述锥形导流管上端开口边缘与所述等离子箱下端开口边缘一体成型或密封焊接，所述锥形导流管下端开口边缘与所述气流管道上端一体成型或密封焊接。

更进一步地，所述锥形引流罩的长度小于所述锥形导流管，所述锥形引流罩的下端开口处与所述等离子箱上端开口处一体成型或密封焊接，所述锥形引流罩上端密封连接所述绝缘软管。

更进一步地，所述风机的进风口下方依次通过进风管连通干燥室和空气过滤净化装置，所述干燥室内壁设置电热片。

有益效果

采用本实用新型提供的技术方案，与已知的公有技术相比，具有如下有益效果：

1、大大提高了气体进入等离子体发生腔内气体电离的均匀度，利于提高电离效率和等离子体浓度。

2、具有减缓气体流速的锥形导流管和蜂窝板，气体流速变缓利于提高电离效率和等离子体浓度。

3、具有便于充分均匀的收集等离子体的锥形引流罩，利于减少等离子体损失。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖面结构示意图；

图中的标号分别代表：等离子体箱1；等离子体发生腔2；电极3；蜂窝板4；气流孔5；锥形导流管6；气流管道7；风机8；锥形引流罩9；绝缘软管10。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

实施例

本实施例的一种工业用高效低温等离子体发生器，包括等离子体箱1，等离子体箱1内设置等离子体发生腔2，等离子体发生腔2内等间距设置电极3，等离子体发生腔2内部下端入口处设置蜂窝板4，蜂窝板4上设置气流孔5；等离子体箱1下端连通锥形导流管6，锥形导流管6下端通过气流管道7连通风机8；等离子体箱1上端设置锥形引流罩9，锥形引流罩9上端连通绝缘软管10；等离子体发生腔2内表面、锥形引流罩9内表面均设置绝缘层；蜂窝板4的外形尺寸与等离子体发生腔2的内表面结构尺寸相匹配；电极3相互平行，气流孔5等间距设置在蜂窝板4上，气流孔5的位置与电极3之间的间隙一一对应；锥形导流管6的上端横截面积大于下端横截面积，锥形导流管6上端开口边缘与等离子箱下端开口边缘一体成型或密封焊接，锥形导流管6下端开口边缘与气流管道7上端一体成型或密封焊接；锥形引流罩9的长度小于锥形导流管6，锥形引流罩9的下端开口处与等离子箱上端开口处一体成型或密封焊接，锥形引流罩9上端密封连接绝缘软管10；风机8的进风口下方依次通过进风管连通干燥室和空气过滤净化装置，干燥室内壁设置电热片。

工作原理：使用发生器生产等离子体时，气体(如空气)通过风机8泵入锥形导流管6，气体进入风机8之前先经空气过滤净化装置净化除杂，再经干燥室干燥后进入风机8。

气体进入锥形导流管6随着管径变大，气体流速逐渐降低，遇到蜂窝板4的阻隔会再次降低。之后，低速气流穿过蜂窝板4上的气流孔5进入等离子体发生腔2，由于气流孔5与电极3的间隙位置一一对应，因此，穿过气流孔5会精准进入电极3的间隙被电离，产生等离子体。形成的等离子体逐渐在锥形引流罩9的汇聚作用下进入绝缘软管10送往等离子体暂存罐或直接用于工业生产，或供加工使用。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。