一种工业用高效低温等离子体发生器的制作方法

文档序号:14478492阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及工业生产技术领域,具体涉及一种工业用高效低温等离子体发生器,包括等离子体箱,所述等离子体箱内设置等离子体发生腔,所述等离子体发生腔内等间距设置电极,所述等离子体发生腔内部下端入口处设置蜂窝板,所述蜂窝板上设置气流孔;所述等离子体箱下端连通锥形导流管,所述锥形导流管下端通过气流管道连通风机;所述等离子体箱上端设置锥形引流罩,所述锥形引流罩上端连通绝缘软管;所述等离子体发生腔内表面、所述锥形引流罩内表面均设置绝缘层。本实用新型大大提高了气体进入等离子体发生腔内气体电离的均匀度,且具有减缓气体流速的锥形导流管和蜂窝板,利于提高电离效率和等离子体浓度。

技术研发人员:康志亮;罗强;夏思凡
受保护的技术使用者:四川农业大学
文档号码:201721307090
技术研发日:2017.10.11
技术公布日:2018.05.18

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