一种抗吹气MEMS麦克风的制作方法

文档序号:18485636发布日期:2019-08-21 00:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抗吹气MEMS麦克风,包括PCB基材(1)、MEMS芯片本体(13)和ASIC芯片(14),其特征在于:所述PCB基材(1)的顶部固定连接有外壳(2),所述PCB基材(1)的顶部开设有声孔(3),所述PCB基材(1)顶部的左侧固定连接有固定管(4),所述固定管(4)位于外壳(2)的内腔;

所述固定管(4)的顶部和底部均开设有通孔(5),所述固定管(4)内腔的顶部固定连接有刚性背极板(6),所述刚性背极板(6)的顶部开设有第一气孔(7),所述第一气孔(7)的数量不少于五个,所述刚性背极板(6)的底部固定连接有垫圈(8),所述垫圈(8)顶部的中心处开设有环形贯穿孔(9),所述垫圈(8)的底部固定连接有柔性膜片(10),所述柔性膜片(10)顶部的中心处开设有第二气孔(11),所述柔性膜片(10)的顶部开设有第三气孔(12),所述第三气孔(12)位于第二气孔(11)的四周,所述第三气孔(12)的数量为四个,所述MEMS芯片本体(13)位于固定管(4)的顶部,所述ASIC芯片(14)位于PCB基材(1)顶部的右侧。

2.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述MEMS芯片本体(13)的两侧均固定连接有安装板(15),所述安装板(15)的一侧固定连接有支撑架(16),所述支撑架(16)的底部与PCB基材(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述声孔(3)的内壁固定连接有防静电铜圈(17),所述防静电铜圈(17)的壁厚不小于零点三毫米。

4.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述外壳(2)的表面设置有耐腐蚀涂层,耐腐蚀涂层的厚度不小于零点一毫米。

5.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述MEMS芯片本体(13)的型号为SPH0641LM4H。

6.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述ASIC芯片(14)的型号为MAX13430E。

7.根据权利要求1所述的一种抗吹气MEMS麦克风,其特征在于:所述声孔(3)、通孔(5)和PCB基材(1)之间通过压焊工艺实现线路连接。

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