一种抗吹气MEMS麦克风的制作方法

文档序号:18485636发布日期:2019-08-21 00:09阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种抗吹气MEMS麦克风,包括PCB基材、MEMS芯片本体和ASIC芯片,所述PCB基材的顶部固定连接有外壳,所述PCB基材的顶部开设有声孔,所述PCB基材顶部的左侧固定连接有固定管,所述固定管位于外壳的内腔,所述固定管的顶部和底部均开设有通孔。本实用新型通过固定管、通孔、刚性背极板、第一气孔、垫圈、环形贯穿孔、柔性膜片、第二气孔和第三气孔的配合使用,解决了现有的MEMS麦克风抗吹气能力主要取决于MEMS芯片本身,无法控制外部气流大小的问题,该抗吹气MEMS麦克风具备抗吹气的优点,加入了对外部气流大小的控制的元件,把到达MEMS芯片内部的气压控制在一定范围内,极好的保护了内部芯片,提高了麦克风的抗吹气能力。

技术研发人员:郭桥生;康良军;郭奕君;郭智华
受保护的技术使用者:朝阳聚声泰(信丰)科技有限公司
技术研发日:2019.01.22
技术公布日:2019.08.20

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