一种信噪比高的MEMS麦克风的制作方法

文档序号:18485639发布日期:2019-08-21 00:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种信噪比高的MEMS麦克风,包括下层PCB板(1)和具有容纳腔(201)的上壳体,其特征在于:所述上壳体固定在下层PCB板(1)的顶部,所述下层PCB板(1)的顶部放置有位于容纳腔(201)的MEMS芯片(4)和ASIC芯片(5),所述ASIC芯片(5)位于MEMS芯片(4)的右侧,所述MEMS芯片(4)和ASIC芯片(5)之间通过第一键合金线(6)电性连接,所述ASIC芯片(5)通过第二键合金线(7)与下层PCB板(1)电性连接,所述上壳体顶部的左侧开设有麦克风声孔(8);

所述下层PCB板(1)的内部开设有U形通道,所述U形通道包括第一凹槽(11)、第二凹槽(12)和连通孔(13),所述第一凹槽(11)的位置与麦克风声孔(8)对齐,所述第二凹槽(12)位于MEMS芯片(4)的底部,所述连通孔(13)用于连通第一凹槽(11)和第二凹槽(12),所述第一凹槽(11)的内腔设置有导气管(9),所述导气管(9)的顶部延伸至麦克风声孔(8)的内腔并与上壳体固定连接,所述麦克风声孔(8)与导气管(9)相适配,所述导气管(9)与第一凹槽(11)相适配。

2.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述导气管(9)的底面设置为斜切面(91),所述斜切面(91)的顶端与连通孔(13)的顶部对齐,所述斜切面(91)的底端与连通孔(13)的底部对齐。

3.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述下层PCB板(1)的底部固定连接有麦克风焊盘(3),所述麦克风焊盘(3)的数量为两个,两个麦克风焊盘(3)对称的设置在下层PCB板(1)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述MEMS芯片(4)和ASIC芯片(5)均通过粘接胶与下层PCB板(1)固定连接,所述导气管(9)表面的顶端和底端均通过粘合剂分别与上壳体和下层PCB板(1)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述上壳体的顶部且对应麦克风声孔(8)的位置粘贴有防水防尘网(10)。

6.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述上壳体为凹形屏蔽外壳(210)。

7.根据权利要求6所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述麦克风声孔(8)、导气管(9)、第一凹槽(11)、第二凹槽(12)和连通孔(13)的截面均为圆形。

8.根据权利要求1所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述上壳体包括矩形框壳体(220)和上层PCB板(230),所述矩形框壳体(220)的顶部与上层PCB板(230)固定连接,所述矩形框壳体(220)的底部与下层PCB板(1)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种信噪比高的MEMS麦克风,其特征在于:所述麦克风声孔(8)、导气管(9)、第一凹槽(11)、第二凹槽(12)和连通孔(13)的截面均为正方形。

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