一种信噪比高的MEMS麦克风的制作方法

文档序号:18485639发布日期:2019-08-21 00:09阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种信噪比高的MEMS麦克风,包括下层PCB板和具有容纳腔的上壳体,所述上壳体固定在下层PCB板的顶部,所述下层PCB板的顶部放置有位于容纳腔的MEMS芯片和ASIC芯片,所述ASIC芯片位于MEMS芯片的右侧,所述MEMS芯片和ASIC芯片之间通过第一键合金线电性连接,所述ASIC芯片通过第二键合金线与下层PCB板电性连接。本实用新型在下层PCB板上设置U形通道的同时,U形通道的一端与位于MEMS芯片的底部,U形通道的另一端与导气管连通,由此使声音信号可以通过麦克风声孔直接到达MEMS芯片的底部,以前进音的封装方式,实现麦克风的背进音功能,从而扩大了进音腔体的体积,有效提升了麦克风的信噪比,提高了MEMS麦克风的实用性,值得推广使用。

技术研发人员:郭桥生;康良军;郭奕君;郭智华
受保护的技术使用者:朝阳聚声泰(信丰)科技有限公司
技术研发日:2019.01.22
技术公布日:2019.08.20

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