，支承透镜组12;底部块19，载置于摄像元件单元20的盖支架25的上表面；可挠性基板13，固定于底部块19上；透镜单元端子部(图3中是剖面，因此仅图示端子14C)，连接于可挠性基板13;及透镜驱动装置16，形成于可挠性基板13上方。
[0063]透镜组12、镜筒15、底部块19、可挠性基板13及透镜驱动装置16容纳于框体11。
[0064]透镜驱动装置16具备第I透镜驱动部、第2透镜驱动部、第3透镜驱动部及作为检测透镜位置的位置检测元件的霍尔元件。
[0065]第I透镜驱动部为用于使透镜组12中的至少一部分透镜(图3的例子中设为透镜组12的所有透镜)向沿着透镜组12的光轴Ax的第I方向(图1的z方向)移动来进行聚焦调整的驱动部。
[0066]第2透镜驱动部及第3透镜驱动部为用于使透镜组12中的至少一部分透镜(图3的例子中设为透镜组12的所有透镜)向与透镜组12的光轴Ax正交的第2方向(图1的X方向)及第3方向(图1的y方向)移动来校正通过摄像元件27拍摄的图像的抖动的驱动部。
[0067]第I透镜驱动部、第2透镜驱动部及第3透镜驱动部分别为用于使透镜移动的致动器，本实施方式中使用了音圈马达(VCM)，但也可采用周知的其他机构。
[0068]图4是表示图1所示的透镜单元10的电连接结构的框图。
[0069]如图4所示，透镜驱动装置16具备用于使透镜组12向X方向移动的X方向VCM16A(上述第2透镜驱动部)、用于检测透镜组12的X方向位置的X方向霍尔元件16B、用于使透镜组12向y方向移动的y方向VCM16C(上述第3透镜驱动部)、用于检测透镜组12的y方向位置的y方向霍尔元件16D、用于使透镜组12向z方向移动的z方向VCM16E(上述第I透镜驱动部)及用于检测透镜组12的z方向位置的z方向霍尔元件16F。
[0070]X方向VCM16A上有2个端子，该2个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子14A、端子14B电连接。
[0071]X方向霍尔元件16B上有4个端子，该4个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子14a、端子14b、端子14c、端子14d电连接。
[0072]y方向VCM16C上有2个端子，该2个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子14C、端子14D电连接。
[0073]y方向霍尔元件16D上有4个端子，该4个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子14e、端子14f、端子14g、端子14h电连接。
[0074]z方向VCM16E上有2个端子，该2个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子14E、端子14F电连接。
[0075]z方向霍尔元件16F上有4个端子，该4个端子分别经由形成于可挠性基板13的配线与端子141、端子14j、端子14k、端子141电连接。
[0076]另外，各透镜驱动部及各霍尔元件所需的端子的个数为一例，并不限定于上述内容。
[0077]以上结构的摄像模块100首先分别制造透镜单元10与摄像元件单元20。并且，进行对透镜单元10与摄像元件单元20进行对位的调整工序，以使通过透镜组12成像的被摄体的成像面与摄像元件27的摄像面一致，之后，粘结固定透镜单元10与摄像元件单元20。
[0078]上述调整工序在通过制造装置将透镜单元10保持为规定姿势的状态下移动摄像元件单元20来进行。
[0079]图5是表示摄像模块100的制造装置200的概略结构的侧视图。
[0080]摄像模块制造装置200调整摄像元件单元20相对于透镜单元10的位置及倾角，调整之后将摄像兀件单兀20固定于透镜单兀10，由此完成摄像t旲块100。
[0081 ]摄像模块制造装置200具备图表单元71、聚光单元73、透镜单元保持部75、通电机构77、摄像元件单元保持部79、粘结剂供给部81、作为光源的紫外线灯83a、83b及控制这些的控制部85。它们被与重力方向平行的面87支承，在面87上沿一方向排列配置。
[0082]图表单元71由作为测定图表设置部的箱状的框体71a、嵌合于框体71a内的测定图表(measurement chart)89及组装于框体7Ia内并从背面以平行光对测定图表89进行照明的光源91构成。测定图表89例如由具有光扩散性的塑料板形成。测定图表89的图表面与重力方向垂直。
[0083]图6是表示测定图表89的图表面的图。测定图表89为矩形状，在设置有图表图案的图表面上分别印刷有多个图表图像CHl、CH2、CH3、CH4、CH5。
[0084]多个图表图像均为相同图像，是以规定的恒定间隔排列黑色线的所谓的梯子状的图表图案。各图表图像分别由沿图像的水平方向排列的水平图表图像Px及沿图像的垂直方向排列的垂直图表图像Py构成。
[0085]聚光单元73在作为测定图表89的图表面的垂线且作为通过图表面中心89a的线的Z轴上，与图表单元71对置配置。
[0086]聚光单元73由固定于面87的支架73a及聚光透镜73b构成。
[0087]聚光透镜73b对从图表单元71放射的光进行聚光，使所聚光的光通过形成于支架73a的开口 73c而入射到透镜单元保持部75。
[0088]图7是表示基于摄像模块制造装置200的透镜单元10与摄像元件单元20的保持状态的说明图。
[0089I透镜单元保持部75在图表单元71与摄像元件单元保持部79之间的Z轴上保持透镜单元10。
[0090]如图7所示，透镜单元保持部75具备:吸附头75a，具有用于吸附透镜单元10的吸附面75d;吸引孔75b(图7的例子中为4个吸引孔)，形成于吸附面75d;及吸引部75e(参考图11，图5、图7、图8中未图示)，从吸引孔75b吸引空气。吸引孔75b例如可设为环状的孔。
[0091]吸附头75a例如通过金属形成而使其具有刚性，且设置有使通过聚光单元73聚光的光通过的开口 75c。吸附头75a在Z轴上与聚光单元73对置配置，开口 75c的中心与Z轴一致。
[0092]吸附头75a的吸附面75d为与Z轴垂直的面。吸附头75a以该吸附面75d朝向与测定图表89相反的一侧的方式配置。
[0093]形成于吸附头75a的吸附面75d上的4个吸引孔75b经由未图示的配管与吸引部75e连结。
[0094]吸引部75e由使负压作用于吸引孔75b的真空源构成。通过吸引部75e使负压作用于吸引孔75b，由此从吸引孔75b吸引空气，与吸附面75d接触的物体通过该吸引力而吸附于吸附面75b。通过控制部85对吸引部75e进行控制。
[0095]图7的吸附面75d中以符号75f表示的框表示透镜单元10的框体11的顶面Ila的外缘所接触的范围。以框75f与透镜单元10的顶面Ila的外缘一致的方式使透镜单元11与吸附面75d接触，由此透镜单元10的光轴Ax与Z轴一致。
[0096]在以框75f与透镜单元10的顶面I Ia的外缘一致的方式使透镜单元11与吸附面75d接触的状态下，框体11的顶面Ila封住所有4个吸引孔。由此，从吸引孔75b吸引空气时，能够使透镜单元10稳定地吸附于吸附面75d。
[0097]图8是表示形成于透镜单元保持部75的吸附头75a上的开口75c与形成于透镜单元10的框体11的顶面Ila上的开口 Ilb之间的关系的图。
[0098]图8是从摄像元件单元保持部79侧观察使透镜单元10与吸附面75d接触的状态的图，对于透镜单元10，以虚线仅示出了框体11的顶面Ila的外缘及开口 lib。
[0099]另外，图8中，为了在之后的说明中使用，还图示了紫外线灯83a、83b的位置。
[0100]如图8所示，从Z轴方向观察开口 75c时的面积大于从Z轴方向观察开口 IIb时的面积。并且，图8的状态下，从Z轴方向观察时，开口 Ilb的所有区域与开口75c重叠。
[0101]图9是用于说明通过透镜单元保持部75吸附保持透镜单元10时的空气流动的图。
[0102]图10是用于说明图9中从Z轴方向观察时的开口75c的面积小于从Z轴方向观察时的开口 Ila的面积时的空气流动的图。
[0103]图9、图10所示的符号17示意地表示容纳于透镜单元10的框体11中的部件。
[0104]如图9所示，若开口 75c的面积大于开口 I Ib的面积，则即使在已从吸引孔75b吸引了空气的情况下，也如黑箭头所示那样产生空气流动，因此能够防止在框体11内部产生空气流动。
[0105]另一方面，如图10所示，若开口75c的面积小于开口 I Ib的面积，则在已从吸引孔
75b吸引了空气的情况下，如黑箭头那样产生空气流动，因此导致在框体11内部产生空气流动。
[0106]透镜组12的至少一部分透镜能够分别沿X方向、y方向及z方向移动。因此，若在框体11内部产生空气流动，则导致该透镜向不希望的方向移动，很难精度良好地进行透镜单元10与摄像元件单元20的对位。因此，如图9所示，优选预先使开口75c的面积大于开口 Ilb的面积。
[0107]另外，即使是如图10那样开口75c的面积小于开口Ilb的面积的装置结构，只要通过橡胶等弹性体构成透镜单元保持部75的吸附头75a的吸附面75d，就能够减少吸附面75d与框体11的顶面I Ia之间的间隙中的空气流动，因此能够抑制在框体11内产生空气流动。
[0108]回到图5的说明，通电机构77包括第I滑动平台99、及固定于第I滑动平台99的平台部99a并具有6个探针销113a(图5中仅图示I个)的探针单元113。
[0109]第I滑动平台99为电动式的精密平台，通过未图示的马达的旋转而使滚珠丝杠旋转，使啮合于该滚珠丝杠的平台部99a沿与Z轴方向及重力方向正交的方向(从图5的纸面跟前侧向纵深方向)移动。
[0110]探针单元113使探针销113a与透镜单元10的各端子14A?14F接触并对各端子14A?14F进行通电，由此驱动第I透镜驱动部(z方向VCM16E)、第2透镜驱动部(X方向VCM16A)及第3透镜驱动部(y方向VCM16C)。
[0111]摄像元件单元保持部79将摄像元件单元20保持于Z轴上。并且，摄像元件单元保持部79能够通过控制部85的控制变更摄像元件单元20的Z轴方向位置及倾角。
[0112]在此，摄像元件单元20的倾角是指摄像元件27的摄像面27a相对于与Z轴正交的平面的倾角。
[0113]摄像元件单元保持部79包括如下部件:卡盘手(chuck hand) 115，以摄像面27a在Z轴上朝向图表单元71的方式保持摄像元件单元20;双轴旋转平台119，保持安装有卡盘手115的大致曲柄状的支架117，且绕与Z轴正交的双轴(水平X轴、垂直Y轴)调整倾角;及第2滑动平台123，保持安装有双轴旋转平台119的支架121并使其沿Z轴方向移动。
[0114]如图7所示，卡盘手115包括弯折成大致曲柄状的一对夹持部件115a及使这些夹持部件115a在与Z轴正交的X轴方向上移动的致动器115b(参考图5)。夹持部件115a夹入摄像元件单元20的外框，保持摄像元件单元20。
[0115]并且，卡盘手115以使通过透镜单元保持部75保持的透镜单元10的光轴Ax与摄像面27a的中心位置大致一致的方式对夹持于夹持部件115a的摄像元件单元20进行定位。
[0116]并且，卡盘手115以使从Z轴方向观察时摄像元件单元20的摄像元件单元端子部的各端子与被保持的透镜单元10的透镜单元端子部14的各端子重叠的方式对夹持于夹持部件115a的摄像元件单元20进行定位。
[0117]双轴旋转平台119为电动式的双轴测角平台，通过未图示的2个马达的旋转，以摄像面27a的中心位置为旋转中心，使摄像元件单元20向绕X轴的θχ方向及绕