与Z轴及X轴正交的Y轴的Θ y方向倾斜。由此，使摄像元件单元20向各方向倾斜时，不会出现摄像面27a的中心位置与Z轴的位置关系偏离的现象。
[0118]第2滑动平台123为电动式的精密平台，通过未图示的马达的旋转使滚珠丝杠旋转，并使啮合于该滚珠丝杠的平台部123a沿Z轴方向移动。平台部123a上固定有支架121。
[0119]双轴旋转平台119上安装有与设置在摄像元件单元20的可挠性基板22的前端的外部连接用端子部23连接的连接线缆(connector cable) 127。该连接线缆127输入摄像元件27的驱动信号或输出从摄像元件27输出的摄像图像信号。
[0120]粘结剂供给部81及紫外线灯83a、83b构成固定透镜单元10及摄像元件单元20的单元固定部。
[0121]粘结剂供给部81在摄像元件单元20相对于透镜单元10的位置及倾角的调整结束之后，向透镜单元10与摄像元件单元20之间的间隙供给通过光进行固化的粘结剂(在此，作为一例，供给紫外线固化型粘结剂)。
[0122]紫外线灯83a、83b通过对供给至上述间隙的紫外线固化型粘结剂照射紫外线，使粘结剂固化。另外，作为粘结剂，除了紫外线固化型粘结剂之外，还可采用瞬间粘结剂、热固化粘结剂、自然固化粘结剂等。
[0123]如图8所示，在由从Z轴方向观察时通过透镜组12的光轴Ax且与光轴Ax正交的直线L2将透镜单元10分割成两部分时的一个分割区侧配置有紫外线灯83a，在另一分割区侧配置有紫外线灯83b。
[0124]S卩，紫外线灯83a、83b从2个方向对供给至上述间隙的紫外线固化型粘结剂照射光来使其固化。由此，与从I个方向照射紫外线时相比，能够在模块整体中均匀地进行紫外线固化型粘结剂的固化，并能够稳定地进行透镜单元10与摄像元件单元20的固定。
[0125]另外，如图8所示，也可构成为由从Z轴方向观察时通过透镜组12的光轴Ax且与光轴Ax正交的直线LI及直线L2(它们相互正交)将透镜单元10分割成四部分，在各分割区侧配置紫外线灯，从而从4个方向照射紫外线。根据该结构，能够更稳定地进行透镜单元10与摄像元件单元20的固定。
[0126]图11是表示摄像模块制造装置200的内部结构的框图。
[0127]如图11所示，上述说明的各部分与控制部85连接。控制部85例如为具备CPU或R0M、RAM等的微型计算机，根据存储于ROM的控制程序控制各部分。并且，控制部85上连接有进行各种设定的键盘或鼠标等输入部131及显示设定内容或操作内容、操作结果等的显示部133。
[0128]透镜驱动器145为用于分别驱动第I透镜驱动部、第2透镜驱动部及第3透镜驱动部的驱动电路，经由探针单元113分别向第I透镜驱动部、第2透镜驱动部及第3透镜驱动部供给驱动电流。
[0129]摄像元件驱动器147为用于驱动摄像元件27的驱动电路，经由连接线缆127向摄像元件27输入驱动信号。
[0130]对焦坐标值获取电路149对设置于摄像元件27的摄像面27a上的多个摄像位置(与测定图表89的各图表图像CHl、CH2、CH3、CH4及CH5对应的位置)，分别获取Z轴方向上的对焦程度较高的位置即对焦坐标值。
[0131]控制部85在获取多个摄像位置的对焦坐标值时，控制第2滑动平台123，使摄像元件单元20依次向预先在Z轴上离散设定的多个测定位置(Z0、Z1、Z2.......)移动。
[0132]并且，控制部85控制摄像元件驱动器147，使摄像元件27在各测定位置拍摄透镜组12成像的测定图表89的多个图表图像011、012、013、014及015的图表图像。
[0133]对焦坐标值获取电路149根据经由连接线缆127输入的摄像信号提取与上述多个摄像位置对应的像素的信号，并根据该像素信号分别计算针对多个摄像位置的个别对焦评价值。并且，将针对各摄像位置获得规定对焦评价值时的测定位置作为Z轴上的对焦坐标值。
[0134]作为对焦评价值，例如可使用对比度传递函数值(Contrast Transfer Funct1n:以下称为CTF值)。CTF值是表示图像相对于空间频率的对比度的值，CTF值较高时视作对焦度较高。
[0135]对焦坐标值获取电路149分别针对多个摄像位置，按设定于Z轴上的多个测定位置(Z0、Z1、Z2.......)，分别对设定于XY坐标平面上的多个方向计算CTF值。
[0136]作为计算CTF值的方向，例如设为摄像面27a的横向即水平方向(X轴方向)及与此正交的垂直方向(Y轴方向)，并分别计算各方向的CTF值即X-CTF值及Y-CTF值。
[0137]对焦坐标值获取电路149针对与各图表图像011、012、013、014及015对应的多个摄像位置，获取X-CTF值成为最大的测定位置在Z轴上的坐标(Zp 1、Zp2、Zp3、Zp4、Zp5)来作为水平对焦坐标值。并且，同样地获取Y-CTF值成为最大的测定位置在Z轴上的坐标来作为垂直对焦坐标值。
[0138]成像面计算电路151中，从对焦坐标值获取电路149输入有各摄像位置的水平对焦坐标值及垂直对焦坐标值。
[0139]成像面计算电路151中，将通过使摄像面27a与XY坐标平面对应时的各摄像位置的XY坐标值、与按各个摄像位置获得的Z轴上的水平对焦坐标值及垂直对焦坐标值的组合来表示的多个评价点展开于组合XY坐标平面与Z轴而成的三维坐标系，并根据这些评价点的相对位置计算在三维坐标系中表示为一平面的近似成像面。
[0140]调整值计算电路153中，从成像面计算电路151输入有近似成像面的信息。
[0141]调整值计算电路153计算近似成像面与Z轴的交点即Z轴上的成像面坐标值Fl及近似成像面相对于XY坐标平面的绕X轴及绕Y轴的倾角即XY方向旋转角度，并输入至控制部85ο
[0142]控制部85根据从调整值计算电路153输入的成像面坐标值及XY方向旋转角度来驱动摄像元件单元保持部79，调整摄像元件单元20的Z轴方向位置及倾角，使摄像面27a与近似成像面一致。
[0143]以上的摄像模块制造装置200概要地实施以下工序。
[0144](I)在与测定图表89的图表面正交的Z轴上保持透镜单元10及摄像元件单元20的工序，
[0? 45] (2)改变保持于Z轴上的摄像元件单元20的Z轴方向位置，在各位置，在分别对保持于Z轴上的透镜单元10的第I?第3透镜驱动部进行通电的状态下，经由电连接部驱动摄像元件27来通过摄像元件27拍摄测定图表89的工序，
[0146](3)根据通过摄像元件27拍摄测定图表89来获得的摄像信号，调整摄像元件单元20相对于透镜单元10的位置及倾角，并将摄像元件单元20固定于透镜单元10的工序。
[0147]以下，根据图12的流程图对基于摄像模块制造装置200的摄像模块100的制造工序的详细内容进行说明。
[0148]首先，对基于透镜保持机构77的透镜单元10的吸附保持(SI)进行说明。
[0149]未图示的机械手(传送部)传送透镜单元10，使透镜单元10的顶面IIa与透镜单元保持部75的吸附面75d接触。在该状态下，框75f与框体11的顶面Ila的外缘一致。
[0150]当透镜单元10的顶面Ila与透镜单元保持部75的吸附面75d接触时，控制部85通过吸引部75e进行空气的吸引。由此，从吸引孔75b吸引空气，透镜单元10的顶面Ila吸附于吸附面75d，从而透镜单元10被保持。
[0151]接着，控制部85使第I滑动平台99的平台部99a向靠近透镜单元保持部75的方向移动，从而使探针113a分别与透镜单元1的端子14A?14F接触。由此，第I?第3透镜驱动部与透镜驱动器145被电连接。
[0152]接着，对基于摄像元件单元保持部79的摄像元件单元20的保持(S2)进行说明。
[0153]控制部85控制第2滑动平台123来使双轴旋转平台119沿着Z轴方向移动，由此在透镜单元保持部75与双轴旋转平台119之间形成可供摄像元件单元20插入的空间。摄像元件单元20被未图示的机械手保持，在透镜单元保持部75与双轴旋转平台119之间被移送。
[0154]控制部85以光学传感器等检测摄像元件单元20的移动，使第2滑动平台123的平台部123a向靠近透镜单元保持部75的方向移动。并且，工作人员利用卡盘手115的夹持部件115a保持摄像元件单元20。并且，将连接线缆127连接于摄像元件单元20的外部连接用端子部23。由此，成为摄像元件27与控制部85电连接的状态。之后，解除通过未图示的机械手进行的摄像元件单元20的保持。
[0155]如此将透镜单元1及摄像元件单元20保持于Z轴上之后，通过对焦坐标值获取电路149获取摄像面27a的各摄像位置的水平对焦坐标值及垂直对焦坐标值(S3)。
[0156]具体而言，控制部85控制第2滑动平台123来使双轴旋转平台119向靠近透镜单元保持部75的方向移动，使摄像元件单元20向摄像元件27最靠近透镜单元10的最初的测定位置移动。
[0157]控制部85使图表单元71的光源91发光。并且，控制部85将来自透镜驱动器145的驱动信号输入至端子14A?14F，驱动第I?第3透镜驱动部，将透镜组12的光轴Ax的X方向位置、y方向位置及z方向位置保持于基准位置(例如实际使用时的初始位置)。
[0158]接着，控制部85控制摄像元件驱动器147来使摄像元件27拍摄通过透镜单元10成像的图表图像CHl、CH2、CH3、CH4及CH5。摄像元件27将所拍摄的摄像信号经由连接线缆127输入至对焦坐标值获取电路149。
[0159]对焦坐标值获取电路149根据所输入的摄像信号提取与各图表图像CHl、CH2、CH3、CH4及CH5对应的摄像位置的像素的信号，并根据该像素信号计算针对各摄像位置的X-CTF值及Y-CTF值。控制部85将X-CTF值及Y-CTF值的信息例如存储于控制部85内的RAM。
[0160]控制部85使摄像元件单元20依次向沿着Z轴方向设定的多个测定位置(Z0、Z1、
Z2.......)移动，在各测定位置，在将透镜组12的光轴Ax的X方向位置、y方向位置及z方向位置保持于基准位置的状态下，使摄像元件27拍摄测定图表89的图表图像。对焦坐标值获取电路149在各测定位置计算各个摄像位置处的X-CTF值及Y-CTF值。
[0161]针对各个摄像位置，对焦坐标值获取电路149从计算出的多个X-CTF值及Y-CTF值中选择最大值，并获取得到最大值的测定位置的Z轴坐标来作为该摄像位置的水平对焦坐标值及垂直对焦坐标值。
[0162]在对焦坐标值获取电路149中获取的水平对焦坐标值及垂直对焦坐标值输入至成像面计算电路151。成像面计算电路151例如通过最小二乘法计算近似于平面的近似成像面F(S5)0
[0163]在成像面计算电路151中计算出的近似成像面F的信息输入至调整值计算电路153。调整值计算电路153计算近似成像面F与Z轴的交点即成像面坐标值Fl及近似成像面相对于XY坐标平面的绕X轴及绕Y轴的倾角即XY方向旋转角度，并输入至控制部85(S6)。
[0164]控制部85根据成像面坐标值Fl及XY方向旋转角度控制作为调整部的双轴旋转平台119及第2滑动平台123，以使摄像元件27的摄像面27a的中心位置与成像面坐标值Fl—致的方式，使摄像元件单元20向Z轴方向移动，并以使摄像面27a的倾角与近似成像面F—致的方式，调整摄像元件单元20的θχ方向及0y方向的角度(S7)。
[0165]控制部85在调整摄像元件单元20的位置及倾角之后实施确认各摄像位置的对焦位置的确认工序(S8)。
[0166]该确认工序中，再次执行上述的S3的各工序。调整摄像元件单元20的位置