1.一种流体控制装置，其特征在于，具备：
多个流体加热部，所述多个流体加热部在内部设置有流路或流体容纳部，所述多个所述流体加热部相互连接；
加热器，所述加热器以将所述多个流体加热部加热到不同温度的方式构成；以及
隔热部件，所述隔热部件配置在邻接的流体加热部之间。
2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，
所述多个流体加热部包括：气化部；对供给至所述气化部的液体进行预加热的预加热部；以及对从所述气化部送出的气体进行控制或测定的流体控制测定部，所述隔热部件配置在邻接的所述气化部与所述预加热部之间。
3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，
还具有设置在所述流体控制测定部的下游侧的截止阀，所述截止阀的阀下游侧流路与阀上游侧流路之间进一步设置有隔热部件。
4.根据权利要求2或3所述的流体控制装置，其特征在于，
所述加热器包括：加热所述预加热部的第一加热器；加热所述气化部的第二加热器；以及加热所述流体控制测定部的第三加热器，并以分别独立地加热所述预加热部、所述气化部以及所述流体控制测定部的方式构成。
5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，
在所述第一加热器与所述第二加热器之间设置有间隙，所述隔热部件设置在所述第一加热器与所述第二加热器之间的间隙的位置。