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流体控制装置的制作方法
文档序号:20167008
发布日期:2020-03-24 21:45
阅读:
来源:国知局
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金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
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流体控制装置的制作方法
技术总结
本发明提供一种为了对保持在不同温度的流体加热部适当地进行温度控制的流体控制装置(100),其具备:在内部设置有流路或流体容纳部且相互连接的多个流体加热部(1);以将多个流体加热部加热到不同温度的方式构成的加热器(10);以及配置在邻接的流体加热部之间隔热部件(13、13’)。
技术研发人员:
日高敦志;中谷贵纪;中辻景介;平尾圭志;皆见幸男;池田信一
受保护的技术使用者:
株式会社富士金
技术研发日:
2018.07.20
技术公布日:
2020.03.24
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